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第452章 光刻！光刻！（第2页）

光刻机另一边，胡教授、郑长枫等几名专家站在一台9英寸的电视监视器前，等待着流片。

每次看这台亲自参与安装的机器，吕辰的心里都涌起一种复杂的情绪。

这是中国第一台自主研制的半接触式光刻机。

长春光机所牵头，哈工大、上海机床厂、武水院等十多家单位协作攻关。

陈光远作为长光所副所长，亲自担任总设计师，用了三年时间，硬是在一穷二白的基础上，把这台机器造了出来。

此刻，这台机器正静静地等待着流片。

“刘高工、周工、王工、胡教授、郑老师……。”

吕辰三人上前一一问候。

胡教授点头笑道：“小吕、小钱、彪子，你们怎么来了，不放心HK-02A吗？”

吕辰笑道：“这是赶上了，今天来厂里对接个电路设计，正好听说HK-02A流片，我们仨从来没看过咱们的光刻机流片，心里好奇，想看看咱们流片的过程。”

周工开玩笑道：“你是应该来看看，作为6305厂筹建指挥部的系统集成专员，厂子一建完，就跑了，不合格。”

大家一起闲聊着，不一会儿，一切准备就绪。

开始检查电源、超纯水、洁净度……

状态完美达到流要求，正式流片启动。

吕辰凑过去，看着GCA-201CGS。

刘高工从旁边的架子上拿起一块圆形的薄片。

那薄片只有两三寸大，泛着银灰色的金属光泽，边缘磨得整整齐齐。

这这是晶圆，已经涂好光刻胶的晶圆。

刘高工把晶圆放在工作台上。

他转过身，又拿起另一块东西，那是一块方形的玻璃板，上面刻着密密麻麻的图案。